Сетки и шкалы

Компания «МакроОптика» принимает заказы на изготовление шкал, сеток и лимбов, полученных методом механического деления и фотолитографией.

Для изготовления оптических сеток и шкал была внедрена технология прецизионной фотолитографии. В основе этой технологии лежит контактный способ экспонирования изображения с фотошаблонов. Для организации участка фотолитографии используется современное отечественное оборудование, смонтированное в чистых помещениях по ГОСТ ISO 14644-1-2002.

Разработанные Компанией «МакроОптика» технологические процессы изготовления оптических шкал методом прецизионного фотолитографии позволяют изготавливать детали с уникальными характеристиками: минимальной шириной штриха 1.5 ± 0.5 мкм, накопленной погрешностью диаметров ± 1.5 угловых секунд и классом чистоты поверхности в рабочей зоне 0-10.

Прецизионная фотолитография

На нашем предприятии разработаны 4 технологии нанесения рисунков на подложку методом прецизионной фотолитографии:

Фотолитография с химическим травлением хрома (прямая)

На подложку наносится маскирующее хромовое покрытие, затем защитная  пленка фоторезиста, в которой формируется топология при экспонировании актиничным излучением через фотошаблон. В последствии производиться травление хромового покрытия через пленку фоторезиста и на подложке заданная топология поверхности.

Взрывная фотолитография (обратная)

На подложку наносится пленка фоторезиста. Производится экспонирование через фотошаблон. На полученную топологию наносится хромовое покрытие. Специальная технология фотолитографии изготовления шкал с запуском. Оптические шкалы с алюминиевым маскирующим покрытием.

Во всех технологических процессах изготовления сеток и шкал огромное значение имеют операции подготовки  подложки. Современные методы очистки поверхностей обеспечивают высокое качество топологии оптических шкал на нашем предприятии.

Штриховые лимбы

Максимальный диаметр, мм

150

Толщина подложки, мм

От 1 до 8

Класс чистоты в рабочей зоне

От 0-10

Погрешность диаметров, угл. сек.

± 1.5

Минимальная ширина штриха, мкм

1.5 ± 0.5

Маскирующая покрытие

Хром

Кодовые лимбы, растры

Максимальный диаметр, мм

150

Толщина подложки, мм

От 1 до 8

Класс чистоты в рабочей зоне

III

Погрешность диаметров, угл. сек.

± 6

Минимальная ширина штриха, мкм

1.5 ± 0.5

Маскирующая покрытие

Хром

Сетки

Размер, мм

От 6 до 150

Толщина подложки, мм

От 1 до 8

Класс чистоты в рабочей зоне

От 0-10

Погрешность диаметров, угл. сек.

± 1.5

Минимальная ширина штриха, мкм

1.5 ± 0.5

Маскирующая покрытие

Хром

Фотошаблоны

На нашем предприятии возможно изготовление прецизионных хромовых фотошаблонов производства сеток, шкал, лимбов с минимальной шириной элементов топологии - 1 мкм и максимальной неравностью толщины - 0.2 мкм.

При изготовлении фотошаблонов используется термохимический метод записи в тонких пленках хрома. Суть метода заключается в экспонировании тонких пленок хрома сфокусированным лазерным лучом (диаметр пятна порядка 0.8мкм). В результате на облученном участке фотошаблона происходит образования защитной пленки хрома. Необлученные области удаляются селективными травителями.

Во всех технологических процессах изготовления сеток и шкал огромное значение имеют операции подготовки  подложки. Современные методы очистки поверхностей обеспечивают высокое качество топологии оптических шкал на нашем предприятии, что обеспечивает минимальное количество «проколов», идеальную ровность края элементов топологии, высокую точность линейных и угловых размеров, с высокой точностью позволяет формировать любую произвольную топологию в соответствии со следующими техническими характеристиками:

Технические характеристики

Минимальная ширина элементов, мкм

1

Максимальная неравномерность ширины    

элементов, мкм

0.2

Максимальный размер рабочего поля, мм

285

Материал записи пленки

Хром

Материал подложки

Стекло, кварц

Угловая погрешность расположения  

элементов топологии, угл. сек.

± 1

Разрешающая способность системы

радикальных перемещений, мкм

0.05

Разрешающая способность системы        

угловых перемещений, угл. сек.

0.2